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超纯水电导率≤0.055μS/cm@25℃；电阻率:18.25ΜΩ?cm@25℃
微粒子(大于0.05μm）含量:﹤1/ml 热源<0.001u/ml
微生物<1cfu/ml， 总有机碳量TOC：1-3 ppb
金属阳离子含量：（单位ppb）：
Fe铁<0.005 cu铜<0.005 Al铝<0.005 Ni镍<0.005
Zn锌<0.02 Cr铬<0.005 Na钠<0.01 K钾<0.02
阴离子含量：（单位ppb）：
Clˉ氯<0.01 N02ˉ亚硝酸根<0.02
NO3ˉ硝酸根<0.02 SO4ˉ硫酸根<0.01
达到标准：中国分析实验室用水规格（GB/T6682-2000）一级水标准
美国试药级（CAP、ASTD、NCCLS）超纯水水质标准
中国国家电子级超纯水规格（GB/T11446.1-1997）EW-I标准
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